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J-GLOBAL ID：200903043221174735

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 秋山 将宏 ,  猪俣 克巳 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994017289
Publication number (International publication number)：1995225475
Application date： Feb. 14, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂を含有する感放射線性樹脂組成物であって、例えば下記式【化1】で表わされる化合物の1,2-キノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、現像性に優れているとともに高解像度であり、特に、良好な溶解性コントラスト(γ値)を備えたポジ型レジストとして好適に使用できる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂および下記一般式(1)【化1】[式(1)において、X1〜X10は、同一または異なり、水素原子、アルキル基、アルコキシ基または-ODで示される基(但し、Dは水素原子または1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。)であり、そしてR1〜R3は、同一または異なり、アルキル基である。但し、X1〜X5およびX6〜X10のそれぞれの組み合せにおいて、少なくとも1つは-ODで示される基であり、これら-ODで示される基の複数個のDの少なくとも1つは1,2-キノンジアジド基を含有する有機基である。]で表わされる1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ポジ型感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-016941   Applicant：日本化薬株式会社
• ポジ型レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-305938   Applicant：日本ゼオン株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-048199   Applicant：日本石油株式会社