カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブ及び電子放出源

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大塚秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001333529
Publication number (International publication number)：2003095625
Application date： Sep. 25, 2001
Publication date： Apr. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】カーボンナノチューブを効率よく製造可能にすること。【解決手段】炭素原子数が1〜5の脂肪族炭化水素と水素との混合気体、あるいは、芳香族炭化水素と水素との混合気体を管110から反応容器101内に導入し、交流電源109から交流電力を供給してアノード102とカソード107間にプラズマを発生させ、これにより、基板105上にカーボンナノチューブを生成被着する。このとき、アノード102と基板105の距離を10cm以下の距離離間させて保持する。

Claim (excerpt)：

反応容器内に配設されたアノードとカソード間に所定周波数の交流電力を供給すると共に、炭素原子数が1〜5の脂肪族炭化水素と水素の混合気体、あるいは、芳香族炭化水素と水素との混合気体を反応容器内に導入して前記アノードとカソード間にプラズマを発生させ、前記アノードとカソード間に配設されると共に前記アノードから10cm以下の距離離間して配設された基板上にカーボンナノチューブを被着形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (2)：

C01B 31/02 101 , D01F 9/127

FI (2)：

C01B 31/02 101 F , D01F 9/127

F-Term (14)：

4G046CA02 , 4G046CB09 , 4G046CC06 , 4L037AT05 , 4L037CS03 , 4L037CT05 , 4L037FA02 , 4L037PA03 , 4L037PA11 , 4L037PA13 , 4L037PA21 , 4L037UA02 , 4L037UA04 , 4L037UA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

カーボンナノチューブの製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-161292 Applicant：キヤノン株式会社
接着性カ-ボンナノチュ-ブ膜を有するデバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-266103 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
大口径カーボンナノチューブ薄膜形成プラズマCVD装置及び該薄膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-000300 Applicant：日本真空技術株式会社

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