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J-GLOBAL ID：200903043278982625

微小位置決め装置

Inventor：
福山 寛正

About 福山 寛正


Applicant, Patent owner：
日本精工株式会社

About 日本精工株式会社


Agent (1)： 鎌田 久男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004202532
Publication number (International publication number)：2006024050
Application date： Jul. 09, 2004
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：
【課題】真空雰囲気の劣化を防止しかつ位置決め精度が良好な微小位置決め装置を提供する。【解決手段】位置決め対象部4と、位置決め対象部4を変位可能に支持する基部2,3と、位置決め対象部4と基部2,3との間に設けられ、温度変化に応じて伸縮する熱伸縮部10と、熱伸縮部10を加熱又は冷却する温度調節部11とを備える微小位置決め装置とし、熱伸縮部10を加熱又は伸縮したときの熱膨張又は熱収縮によって位置決めを行なう。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
位置決め対象部と、 前記位置決め対象部を変位可能に支持する基部と、 前記位置決め対象部と前記基部との間に設けられ、温度変化に応じて伸縮する熱伸縮部と、 前記熱伸縮部を加熱又は冷却する温度調節部と を備える微小位置決め装置。
IPC (4)：
G05D 3/00 ,  B23Q 1/34 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G05D3/00 C ,  B23Q1/34 C ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503B
F-Term (23)：
3C048BB01 ,  3C048BC02 ,  3C048DD09 ,  3C048DD10 ,  3C048EE00 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA09 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA06 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC13 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303DD17 ,  5H303DD19
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 精密位置決め装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-310282   Applicant：キヤノン株式会社
Cited by examiner (7)
  • ステージの微動装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-245561   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 特開昭53-099875
  • 特開昭63-193089
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