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J-GLOBAL ID:200903043452755501

近接視野顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 秋田 収喜
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997164025
Publication number (International publication number):1999014639
Application date: Jun. 20, 1997
Publication date: Jan. 22, 1999
Summary:
【要約】【課題】 プローブ先端に点光源が構成されるようにして、簡単な光学系で背景光を低減し、また、反射型照明を可能とし、かつ観測できる被観測物体に制限がなく、工業化に適した近接視野顕微鏡を提供する。【解決手段】 被観測物体に対して中心波長λの入力光を照射する光照射手段(11)と、プローブ(91)と、前記プローブの前記被観測物体に最も近接した部分に設けられ前記光照射手段からの入力光の波長よりも短波長の光を出力する光波長変換手段(100)と、前記光波長変換手段からの光を検出する光検出手段(51,501,502)と、前記プローブとの相対的な位置関係を変化させる走査手段(81,82,9)とを有し、前記被観測物体と前記プローブとの距離がλ以下であることを特徴とする。
Claim (excerpt):
被観測物体に対して中心波長λの入力光を照射する光照射手段と、プローブと、前記プローブの前記被観測物体に最も近接した部分に設けられ前記光照射手段からの入力光の波長よりも短波長の光を出力する光波長変換手段と、前記光波長変換手段からの光を検出する光検出手段と、前記プローブとの相対的な位置関係を変化させる走査手段とを有し、前記被観測物体と前記プローブとの距離がλ以下であることを特徴とする近接視野顕微鏡。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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