微粒子の配列方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西脇民雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001079093
Publication number (International publication number)：2002273209
Application date： Mar. 19, 2001
Publication date： Sep. 24, 2002
Summary：

【要約】【課題】所望の領域に2次元に微粒子を配列させることのできる、微粒子の配列方法を提案すること。【解決手段】この発明の微粒子Aの配列方法は、界面活性剤を用いて微粒子Aを媒体に分散させた分散液を酸化物基板1表面に展開する微粒子展開工程、酸化物基板1に所定のパターンにより光を照射する光照射工程、前記媒体を除去する媒体除去工程の各工程を組み合わせることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

界面活性剤を用いて微粒子を媒体に分散させた分散液を酸化物基板表面に展開する微粒子展開工程、酸化物基板に所定のパターンによりエネルギー線を照射するエネルギー線照射工程、前記媒体を除去する媒体除去工程を組み合わせることを特徴とする微粒子の配列方法。

IPC (3)：

B01J 19/12 , G11B 5/842 , G11B 5/855

FI (4)：

B01J 19/12 G , G11B 5/842 A , G11B 5/842 B , G11B 5/855

F-Term (18)：

4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BC06 , 4G075BD16 , 4G075CA22 , 4G075DA01 , 4G075FB04 , 5D112AA02 , 5D112AA05 , 5D112AA16 , 5D112BA02 , 5D112BB03 , 5D112BB09 , 5D112BB18 , 5D112CC05 , 5D112CC13 , 5D112GA19 , 5D112GB01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

金属酸化物薄膜パターン形成用組成物およびその形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-060898 Applicant：三菱マテリアル株式会社
超微粒子の配列方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-346432 Applicant：沖電気工業株式会社
微粒子膜の転写付着方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-304092 Applicant：新技術事業団

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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