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J-GLOBAL ID：200903043668906296

マイクロ流体素子とその製造方法

Inventor：
吉田 善一

About 吉田 善一


Applicant, Patent owner：
タマティーエルオー株式会社

About タマティーエルオー株式会社


Agent (1)： 飯田 敏三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002332763
Publication number (International publication number)：2004167607
Application date： Nov. 15, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：
【課題】分岐や合流を有し、複数の溶液の混合や反応速度を早くする立体構造の流路を有するマイクロ流体素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、前記複数の樹脂層に立体流体回路を形成したマイクロ流体素子。および、(a)基板上に樹脂層を形成し、該樹脂層をレーザ加工により除去して、流体の流路となる所定のパターンの溝を形成し、(b)加工後の樹脂層の表面全体を樹脂コートして次ぎの樹脂層を形成し、該次ぎの樹脂層にレーザ加工で溝、及び/又は、該樹脂コートされたの樹脂層に形成された溝との貫通穴を形成し、加工後の次ぎの樹脂層の表面全体を樹脂コートし、(c)前記(b)工程を繰り返し、(d)最後に樹脂コートし立体の流体回路を形成する工程とからなるマイクロ流体素子の製造方法。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板と基板上に形成した複数の樹脂層を有し、該複数の樹脂層に立体流体回路を形成したことを特徴とするマイクロ流体素子。
IPC (5)：
B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N31/20 ,  G01N35/08 ,  G01N37/00
FI (5)：
B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N31/20 ,  G01N35/08 Z ,  G01N37/00 101
F-Term (21)：
2G042AA01 ,  2G042BD19 ,  2G042CB03 ,  2G042HA02 ,  2G042HA03 ,  2G042HA06 ,  2G042HA10 ,  2G058AA09 ,  2G058CC05 ,  2G058CC19 ,  2G058DA07 ,  2G058EA03 ,  2G058EA05 ,  2G058EA11 ,  2G058EA19 ,  2G058FA07 ,  2G058FB01 ,  2G058FB14 ,  2G058GA01 ,  2G058GA11 ,  2G058GA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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