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J-GLOBAL ID:200903043817229421
複雑形状体の鏡面研磨方法および鏡面研磨装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
松井 伸一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005207887
Publication number (International publication number):2007021661
Application date: Jul. 15, 2005
Publication date: Feb. 01, 2007
Summary:
【課題】 研磨対象が溝など凹凸を有する複雑形状体であっても凹部の奥隅について応力なく研磨が行なえて、鏡面に仕上げることができる複雑形状体の鏡面研磨方法および鏡面研磨装置を提供すること【解決手段】 流動槽2の底面に研磨対象(試料3)を固定し、試料3には研磨バイト4を対面させ、磁気研磨液1を入れて浸す。磁気研磨液1には非磁性の砥粒を混合し、αセルロースなどの増粘剤を混合する。研磨バイト4は試料3との対面に永久磁石41を設け、そして柔軟性を有した毛材42を複数植え立てて設けてブラシにする。駆動モータ11により研磨バイト4を回転させ、流動槽2は振動台8により適宜に振動させて研磨液をかき混ぜる。毛材42によるブラシが試料3の凹部内の研磨液を攪拌し、永久磁石41の磁場により生成した磁気クラスタが砥粒を押さえつけ、相対運動により研磨が行なえる。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
複雑形状体である研磨対象に対して研磨バイトを対面させるともに、これらの周辺に磁気研磨液を存在させて流体研磨を行なう複雑形状体の鏡面研磨方法あって、
前記研磨バイトは前記研磨対象との対面に磁場を発生する磁場発生源を設けるともに、柔軟性を有した毛材を複数植え立てて設け、前記研磨バイトと前記研磨対象との間に前記磁気研磨液を存在させて当該磁気研磨液には非磁性の砥粒を混合しておき、
前記研磨バイトに連係した回転手段を起動して当該研磨バイトを回転動作するともに、前記磁場発生源により前記磁気研磨液に時間的に定常的あるいは変動的な磁場を加え、当該磁気研磨液を攪拌手段によりかき混ぜて流体研磨を行なうことを特徴とする複雑形状体の鏡面研磨方法。
IPC (4):
B24B 31/112
, B24B 29/00
, B24B 31/06
, B24B 37/00
FI (4):
B24B31/112
, B24B29/00 H
, B24B31/06
, B24B37/00 D
F-Term (8):
3C058AA06
, 3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AA11
, 3C058AB04
, 3C058AB06
, 3C058DA10
, 3C058DA11
Patent cited by the Patent:
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