感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鐘尾宏紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999362994
Publication number (International publication number)：2001174990
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【目的】高残膜性および高感度化を両立させることが実用上可能で、塗布性も優れた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中に更に溶解抑止剤、好ましくはポリスチレン換算重量平均分子量が7,000〜20,000で、2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウムに対する溶解速度が1500Å/分以下である重合体を含有させるとともに、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対し、キノンジアジド基を含む感光剤を従来の感光剤より少ない量である1〜18重量部含有させる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中に更に溶解抑止剤が含有されるとともに、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対する前記キノンジアジド基を含む感光剤の量が1〜18重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/027 502 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/027 502 , H01L 21/30 502 R

F-Term (14)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB14 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

放射線感受性レジスト組成物及びその使用
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-260837 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
ポジ型フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-027211 Applicant：ジェイエスアール株式会社
ポジ型感光性平版印刷版およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-273650 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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