高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：矢葺知之 , 津波古繁夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002276927
Publication number (International publication number)：2004119040
Application date： Sep. 24, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：

【課題】高温炉あるいは煙道内に存在する超微量ガス、高沸点ガス、不安定ガスの検出に優れた高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を提供すること。【解決手段】試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻形状であり、引き出し電極の正対する位置に同一形状の対向電極を配置し、該対向電極の後方にパルスバルブを配置し、前記引き出し電極の後方に円筒状のポテンシャルスイッチを、さらにその後方に前記検出器を配置し、引き出し電極および対向電極の孔、パルスバルブの噴射口、検出器を同軸上に配置すること。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻形状であり、引き出し電極の正対する位置に同一形状の対向電極を配置し、該対向電極の後方にパルスバルブを配置し、前記引き出し電極の後方に円筒状のポテンシャルスイッチを配置し、さらにその後方に前記検出器を配置し、かつ、前記引き出し電極および対向電極の孔、前記パルスバルブの噴射口、前記検出器を同軸上に配置することを特徴とする高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置。

IPC (5)：

H01J49/10 , G01N27/62 , G01N27/64 , H01J49/06 , H01J49/26

FI (6)：

H01J49/10 , G01N27/62 F , G01N27/62 V , G01N27/64 B , H01J49/06 , H01J49/26

F-Term (11)：

5C038FF07 , 5C038FF10 , 5C038FF13 , 5C038GG07 , 5C038GH04 , 5C038GH08 , 5C038GH11 , 5C038GH13 , 5C038HH02 , 5C038HH05 , 5C038HH18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

高感度超音速分子ジェット多光子イオン化質量分析装置及びその高感度検出方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-139590 Applicant：科学技術振興事業団
キャリヤ-ガス中のサンプル分子の検出方法と装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-305939 Applicant：ドイチェフォルシュングスアンシュタルトフュアルフト-ウントラウムファールトエー.ファウ.
質量分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-291655 Applicant：日本電子株式会社

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