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J-GLOBAL ID：200903044790138492

球状ICの露光方法

Inventor：
甲斐 秀芳

About 甲斐 秀芳


Applicant, Patent owner：
株式会社三井ハイテック

About 株式会社三井ハイテック


Agent (1)： 小堀 益 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997209476
Publication number (International publication number)：1999054406
Application date： Aug. 04, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 球状ICを露光する場合に、焦点深度の調整や解像度の維持及びマスクの作成が容易に行える露光方法を提供すること。【解決手段】 球状IC(1)の中心を通る軸を任意に取り決め、該軸を中心にして球状IC(1)を間欠的に回転させながら、この回転角に対応する球状IC(1)の表面の露光領域Sを露光する。
Claim (excerpt)：
球状ICの中心を通る軸を任意に取り決め、該軸を中心にして球状ICを間欠的に回転させながら、この回転角に対応する球状IC表面の露光領域を露光することを特徴とする球状ICの露光方法
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 502 Z ,  G03F 7/20 521
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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