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J-GLOBAL ID:200903044815350327
凍結式ワーク固定法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
黒田 泰弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997048496
Publication number (International publication number):1998230429
Application date: Feb. 17, 1997
Publication date: Sep. 02, 1998
Summary:
【要約】【課題】特別な冷凍チャック装置を用いる要なくワークを加工中しっかりと固定して高精度に加工することができ、それでいながらワークの着脱も簡単に能率よく行うことができる安価で実用的なワーク固定法を提供する。【解決手段】シリコーンオイルで代表される凝固点が水のそれよりも高い高分子系凝固剤をすくなくともワークと固定用治具表面の間に介在させ、この状態で高分子系凝固剤の凝固温度よりも低い温度の流体をワーク加工中に前記固定用治具に作用させることにより高分子系凝固剤を冷却しワークを凍結固定する。
Claim (excerpt):
凝固点が水のそれよりも高い高分子系凝固剤をすくなくともワークと固定用治具表面の間に介在させ、この状態で高分子系凝固剤の凝固温度よりも低い温度の流体をワーク加工中に前記固定用治具に作用させることにより高分子系凝固剤を冷却しワークを凍結固定することを特徴とする凍結式ワーク固定法。
IPC (2):
FI (2):
B23Q 3/08 Z
, F16B 1/02 L
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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特開昭62-252945
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特公昭42-002787
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被工作物の固定方法及び固定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-206148
Applicant:日興機械株式会社
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冷凍チャックを用いた機械加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-240930
Applicant:株式会社岡本工作機械製作所, 株式会社日立製作所
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ウエハの固定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-199579
Applicant:野村マイクロ・サイエンス株式会社
-
半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-068364
Applicant:株式会社東芝
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冷凍チャックテーブル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-288183
Applicant:株式会社ディスコ
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特開昭54-150787
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凍結により試料片を固定するための方法および該方法を実施するための装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-185590
Applicant:ソシエテアノニムデラマニュファクトューレデュオルロジリオードマルス,ピガーアンドシーエ
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特開昭58-165941
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