電気光混載モジュールおよびその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：谷義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995005232
Publication number (International publication number)：1996194137
Application date： Jan. 17, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】電気配線を高密度化でき、端面型光素子を容易、かつ正確に光導波路に光結合した電気光混載モジュールを提供する。【構成】基板上に形成された、絶縁体層と第1の導体層とが多層化されてなる多層配線層上に、光導波路コアを該光導波路コアよりも屈折率の低い上部および下部光導波路クラッドが挟んでなる光導波路が積層された電気光混載配線板において、光導波路端部前方に光伝搬方向に対して垂直な側壁を持つ光素子設置領域が形成され、該領域には光導波路面に平行に第2の導体が形成され、この導体上には平行に半田層が形成され、この半田層上に、端面型光素子が、半田層の表面から光導波路コアの光軸までの距離が、半田層に接触する側の端面型光素子面から該端面型光素子の活性部中心までの距離と等しく、その活性部中心を通る光軸が光導波路コアの光軸と一致する位置で、固定されている。

Claim (excerpt)：

基板上に、絶縁体層と第1の導体層とが多層化されてなる多層配線層が形成され、該多層配線層上に、光導波路コアを該光導波路コアよりも屈折率の低い上部および下部光導波路クラッドが挟んでなる光導波路が積層された電気光混載配線板と、前記電気光混載配線板の前記光導波路と光結合されている端面型光素子と、を有する電気光混載モジュールであって、前記基板上の前記光導波路端部前方に光伝搬方向に対して垂直な側壁を持つ光素子設置領域が形成されるとともに、該光素子設置領域の表面には前記光導波路の平面に平行に第2の導体層が形成され、かつ該第2の導体層上には、該第2の導体層に平行に半田層が形成され、さらに該半田層の表面から前記光導波路コアの光軸までの距離が、前記端面型光素子の前記半田層に接触する裏面から該端面型光素子の活性部中心までの距離と等しく設定され、前記端面型光素子の活性部中心を通る光軸が、前記光導波路コアの光軸と一致する位置で、前記端面型光素子が前記電気光混載配線板上の前記半田層に固定されている、ことを特徴とする電気光混載モジュール。

IPC (2)：

G02B 6/42 , G02B 6/122

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開昭61-226717
特開昭59-180514
光回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-015519 Applicant：日本電信電話株式会社

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Cited by examiner (8)

フレキシブル電気・光配線回路モジュールとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-010381 Applicant：日本電信電話株式会社
光回路・電気回路混載基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-243997 Applicant：古河電気工業株式会社
光半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-245207 Applicant：日本電気株式会社

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