オンチップマイクロレンズを備えた固体撮像装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993205632
Publication number (International publication number)：1995045805
Application date： Jul. 29, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】画素が微細化されてもマイクロレンズの設計の自由度が大きく、充分なマイクロレンズ効果の発揮が可能なマイクロレンズ付の固体撮像装置を提供する。【構成】 CMDのチャネル領域3,ゲート酸化膜4及びゲート電極5からなるMOSホトダイオード部に対して絶縁層6をエッチングして光導波路用穴10を形成したのち、絶縁薄膜11と金属薄膜12を順次形成する。RIE法で金属薄膜12の除去を行い、穴10の側壁にのみ金属薄膜12を残し、該穴10内にSiO2 等の透明材料を埋め込んで光導波路10aを形成すると共に、焦点が光導波路10aの入射面付近に存在するように平坦化層13及びマイクロレンズ14を形成し、マイクロレンズ付固体撮像装置を構成する。

Claim (excerpt)：

ホトダイオードを含む画素を2次元状に多数配置した受光部と、該受光部上に形成された配線を含む絶縁層とを有する固体撮像装置において、少なくとも前記ホトダイオード上の絶縁層の一部に、受光部の受光面に対して垂直に光導波路を設けると共に、該光導波路の上部にオンチップマイクロレンズを形成し、該オンチップマイクロレンズの焦点が前記光導波路の光入射面近辺に存在するように構成したことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/14 , G02B 27/00

FI (2)：

H01L 27/14 D , G02B 27/00 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-199874
特開平4-085960
特開昭60-047472

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