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J-GLOBAL ID：200903045001685294

光学系及びそれを用いた投影装置

Inventor： 吉原 俊幸
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999322326
Publication number (International publication number)：2000214382
Application date： Nov. 12, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 投影光学系の軸上コマ収差や縦横倍率差の補正が可能な光学系及びそれを用いた投影装置を得ること。【解決手段】 光軸14回りに回動でき且つ傾動できる、シリンドリカル面及び/又はトーリック面を持つ光学素子13によりレンズ17の縦横倍率差と軸上コマ収差と球面収差を補正する。

Claim (excerpt)：

収差を変更できる光学系であって、前記光学系の光軸回りに回動でき且つ傾動できる、シリンドリカル面及び/又はトーリック面を持つ光学素子を有することを特徴とする光学系。

IPC (2)：

G02B 13/08 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G02B 13/08 ,  H01L 21/30 515 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 投影露光装置、デバイス製造方法及び収差補正光学系
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-182044   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平1-121816
  
• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-323721   Applicant：株式会社ニコン
• 露光装置およびデバイス製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-122788   Applicant：キヤノン株式会社
• 投影露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-170379   Applicant：株式会社ニコン