基板処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉谷勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997330053
Publication number (International publication number)：1999162921
Application date： Dec. 01, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：

【要約】【課題】排液排出系内の切換え手段の誤動作等に起因する不都合を軽減する。【解決手段】処理槽1には処理液供給系2から複数種類の処理液が選択的に供給される。処理槽1から排出される排液は排液排出系4を介して廃液システム3に流される。排液排出系4は、排液の種類に応じた複数の種類別排液排出管42と、処理槽1から排出される排液を、その排液の種類に応じた種類別排液排出管42にのみ流すように排液の流出先を切り換える複数の開閉弁43とを備えて、排液を種類別に分離排液し得るように構成している。排液検出センサ44は種類別排液排出管42に排液が流れていることを、各々の種類別排液排出管42ごとに検出し、コントローラ8はその検出信号に基づき、各開閉弁43が正常に作動しているか否かを監視し、正常に作動していないとき、所定の異常処理を行う。

Claim (excerpt)：

基板を処理液に浸漬して所定の処理を行う処理槽と、前記処理槽に複数種類の処理液を選択的に供給する処理液供給系と、前記処理槽から排出される排液を廃液システムに流す排液排出系と、を備え、かつ、前記排液排出系は、排液の種類に応じた複数の種類別排液排出管と、前記処理槽から排出される排液を、その排液の種類に応じた種類別排液排出管にのみ流すように排液の流出先を切り換える切換え手段と、を備えて、排液を種類別に分離排液し得るように構成された基板処理装置において、前記種類別排液排出管に排液が流れていることを、各々の種類別排液排出管ごとに検出して、その検出信号を出力する排液検出手段と、前記排液検出手段から出力される検出信号に基づき、前記処理槽から排出される排液が、その排液の種類に応じた種類別排液排出管にのみ流されるように切換え手段が正常に作動しているか否かを監視し、切換え手段が正常に作動していないとき、所定の異常処理を行う排液監視手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/304 648 , H01L 21/304 , H01L 21/304 642

FI (3)：

H01L 21/304 648 K , H01L 21/304 648 G , H01L 21/304 642 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

基板の浸漬処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-145939 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-090581 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
洗浄槽への純水供給方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-307925 Applicant：川崎製鉄株式会社

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