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J-GLOBAL ID：200903045078395639

張力測定方法及び張力測定装置

Inventor：
杉原 理

About 杉原 理


Applicant, Patent owner：
ホーヤ株式会社

About ホーヤ株式会社


Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998192040
Publication number (International publication number)：2000028453
Application date： Jul. 07, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 非接触で迅速にメンブレンの張力を測定する。【解決手段】 一様な張力で張られたメンブレン9に対してスピーカ105から音波を与えることでメンブレン9を振動させる。メンブレン9の振動をレーザドップラ振動計101で測定し、メンブレン9の固有振動の基本振動数に基づいてメンブレン9の張力を算出する。
Claim (excerpt)：
一様な張力で張られた膜に対して音波を与えることで該膜を振動させ、該膜の振動を光学的に測定することで、その測定データに基づいて前記膜の張力を算出することを特徴とする張力測定方法。
IPC (5)：
G01L 5/04 ,  G01N 3/00 ,  G01N 29/12 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (5)：
G01L 5/04 Z ,  G01N 3/00 P ,  G01N 29/12 ,  G01R 1/073 F ,  H01L 21/66 H
F-Term (36)：
2F051AA21 ,  2F051AB04 ,  2F051AC01 ,  2F051CA00 ,  2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AB08 ,  2G011AE03 ,  2G047AA05 ,  2G047AB00 ,  2G047AD08 ,  2G047BA04 ,  2G047CA07 ,  2G047EA09 ,  2G047EA19 ,  2G061BA16 ,  2G061CA20 ,  2G061CB01 ,  2G061CB06 ,  2G061DA20 ,  2G061EA06 ,  2G061EB10 ,  2G061EC02 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA20 ,  4M106BA05 ,  4M106BA20 ,  4M106CA56 ,  4M106DH01 ,  4M106DH20 ,  4M106DH32 ,  4M106DJ01 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ33
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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