感光性組成物

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996221230
Publication number (International publication number)：1997127691
Application date： Aug. 22, 1996
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】良好な解像性、再現性を有するとともに、短波長の紫外線に対する高い透明性や十分なドライエッチング耐性を示す感光性組成物を提供する。【解決手段】酸分解性を有する樹脂、光酸発生剤、および分子量2000以下のナフトールノボラック化合物を含有する感光性組成物である。前記酸分解性基を有する樹脂は、脂環式骨格を有する重合性化合物を単量体とする共重合体であることが好ましい。

Claim (excerpt)：

酸分解性を有する樹脂、光酸発生剤、および分子量2000以下のナフトールノボラック化合物を含有する感光性組成物。

IPC (7)：

G03F 7/023 511 , C08L 61/10 LMY , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/023 511 , C08L 61/10 LMY , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , G03F 7/038 505 , G03F 7/039 501 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

酸分解性高分子化合物の合成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-273879 Applicant：三菱電機株式会社
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-001807 Applicant：株式会社東芝
ポジ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-028880 Applicant：三菱電機株式会社

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Cited by examiner (5)

酸分解性高分子化合物の合成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-273879 Applicant：三菱電機株式会社
パターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-001807 Applicant：株式会社東芝
ポジ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-028880 Applicant：三菱電機株式会社

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