表面欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：武井秀彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002309889
Publication number (International publication number)：2004144612
Application date： Oct. 24, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：

【課題】簡単な構成および調整方法でも、被検査物表面の緩やかな表面凹凸状の欠陥を精度良く検査できる方法および装置を提供すること。【解決手段】表面の滑らかな円筒体もしくは円柱体の被検査物の表面の欠陥を検査する検査方法において、平行光を被検査物の軸方向から軸線に対して5〜25°の角度で、斜めに照射するとともに、該被検査物からの反射光を、レンズの軸線に対して略平行な光のみを通すレンズを通して光電変換センサーで受光し、該光電変換センサーからの信号を処理して前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

表面の滑らかな円筒体もしくは円柱体の被検査物の表面の欠陥を検査する検査方法において、平行光を被検査物の軸方向から軸線に対して5〜25°の角度で、斜めに照射するとともに、該被検査物からの反射光を、レンズの軸線に対して略平行な光のみを通すレンズを通して光電変換センサで受光し、該光電変換センサからの信号を処理して前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (4)：

G01N21/952 , G01B11/30 , G03G5/00 , G03G21/00

FI (4)：

G01N21/952 , G01B11/30 A , G03G5/00 101 , G03G21/00

F-Term (33)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB06 , 2F065BB08 , 2F065CC00 , 2F065FF04 , 2F065GG02 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065HH03 , 2F065JJ02 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL04 , 2F065LL26 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065UU01 , 2F065UU02 , 2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2H068AA21 , 2H068EA12 , 2H068EA41 , 2H134QA01 , 2H134QA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

表面形状欠陥検査方法及びそれを用いた表面欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-303788 Applicant：キヤノン株式会社
容器密封面領域検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-172007 Applicant：オウェンスブロックウェイグラスコンテナーインコーポレイテッド
特開昭50-075086

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