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J-GLOBAL ID：200903067568335581

透光性基板の欠陥検出装置及び方法

Inventor：
佐藤 芳樹

About 佐藤 芳樹


Applicant, Patent owner：
ホーヤオプティクス株式会社

About ホーヤオプティクス株式会社


Agent (1)： 遠藤 恭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998271121
Publication number (International publication number)：2000097867
Application date： Sep. 25, 1998
Publication date： Apr. 07, 2000
Summary：
【要約】【課題】 透光性基板における極めて微細な欠陥を、明瞭かつ容易に検出することができる欠陥検出装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る欠陥検出装置1は、透光性基板Oの第1の面に光を照射する照明系2〜5と、透光性基板Oの第1の面で反射した上記照明系からの光を吸収する光吸収フィルタ11と、上記照明系からの光により透光性基板Oの第2の面に透過される光を入射し、その像を結像するレンズ8と、該結像された像を画像データに変換する撮像手段6と、その像を拡大表示するモニタ9を備える。透光性基板Oに欠陥が存在する場合、照明系からの光は該欠陥位置で乱反射され、その位置に対応する撮像手段6上の対応画素への光量が変化し、これがモニタ9上に拡大して反映されることとなる。この場合において、透光性基板から反射された光は、光吸収フィルタ11によって吸収されるので、撮像手段に結像される像は暗視野となりモニタ上で該欠陥が明瞭となる。
Claim (excerpt)：
透光性基板の欠陥を検出するための欠陥検出装置において、上記透光性基板の第1の面に光を照射する照明系と、上記透光性基板の第1の面で反射した上記照明系からの光を吸収する光吸収フィルタと、上記照明系からの光により上記透光性基板の第2の面に透過される光を入射し、上記透光性基板の像を結像するレンズと、上記レンズによって結像された像を画像データに変換する撮像手段と、上記画像データに変換された透光性基板の像を拡大表示するモニタと、を備えた欠陥検出装置。
F-Term (8)：
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051EA12 ,  2G051EC01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 特開昭53-007288
  • ガラスの脈理検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-325528   Applicant：東芝硝子株式会社
  • 着色パターンの欠陥検査方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-263120   Applicant：大日本印刷株式会社
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