Pat
J-GLOBAL ID：200903045266625510
積層構造体とそれを用いたデバイス、デバイスの製造方法,液体吐出装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008070749
Publication number (International publication number)：2009224740
Application date： Mar. 19, 2008
Publication date： Oct. 01, 2009
Summary：
【課題】特殊なエッチング液等を用いることなく、μmオーダーの膜に対しても高精度且つ容易にパターニングが可能な積層構造体を提供する。【解決手段】積層構造体は、基板10と、基板10上に成膜された、潮解性を有する無機物を主成分とする分離層30と、分離層30上に成膜された、機能性膜42を含む被剥離層40とレジストによるマスク50とを備え、分離層30が、被剥離層40の表面に水を接触させることにより、非パターン部分の被剥離層40と基板10との接合強度を低下させて、被剥離層40を基板10から剥離させるものである。機能性膜42としては、圧電体膜、焦電体膜、強誘電体膜、超伝導体膜、磁性体膜、半導体膜、導電体膜、絶縁体膜、誘電体膜、イオン交換膜、光学機能性膜等が挙げられる。【選択図】図2e
Claim (excerpt)：
基板と、
該基板上に成膜された、潮解性を有する無機物を主成分とする分離層と、
該分離層上に成膜された、機能性膜を含む被剥離層とを備えた積層構造体であって、
前記分離層が、前記被剥離層表面に水を接触させることにより、前記被剥離層と前記基板との接合強度を低下させて、前記被剥離層を前記基板から剥離させるものであることを特徴とする積層構造体。
IPC (5)：
H01L 41/22
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/24
, B41J 2/16
H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101A
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
