透明導電膜およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996093778
Publication number (International publication number)：1997282945
Application date： Apr. 16, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】酸化インジウムの(100)面が特定方向に配向している結晶質酸化物からなる従来の透明導電膜を形成するためには、特定の単結晶基板上に製膜するか、基板温度を高くして製膜する必要があり、樹脂基板上に当該透明導電膜を形成することは困難である。また、その配向率は低い。【解決手段】インジウム(In)を主とする1種以上の金属元素と、少なくとも1種のハロゲンと、酸素(O)とを構成元素とし、酸化インジウムの(100)面が基板表面と平行に配向率50%以上で配向している結晶質酸化物によって透明導電膜を形成する。

Claim (excerpt)：

インジウム(In)を主とする1種以上の金属元素と、少なくとも1種のハロゲンと、酸素(O)とを構成元素とし、酸化インジウムの(100)面が基板表面と平行に配向率50%以上で配向している結晶質酸化物からなることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C30B 29/10 , H01B 13/00 503

FI (4)：

H01B 5/14 A , C23C 14/08 D , C30B 29/10 , H01B 13/00 503 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭63-089436
特開平3-064810
透明導電体材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-150479 Applicant：シャープ株式会社

Show all

Return to Previous Page