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J-GLOBAL ID:200903045623414778

液晶表示素子の製造方法および基板貼り合わせ装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998237663
Publication number (International publication number):2000066163
Application date: Aug. 24, 1998
Publication date: Mar. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 一対の基板のアライメントとギャップ制御とを同一工程で行うことにより、ギャップ面内均一性、ギャップ精度、およびアライメント精度を向上させ、高品位な表示が可能な液晶表示素子を提供する。【解決手段】 基板貼り合わせ装置は、真空槽8内に、上下一対の定盤9・10と、認識カメラ(図示せず)とを備える。液晶を滴下した基板2aを下方の定盤10に設置し、他方の基板2bを上方の定盤9に設けた静電チャック11に吸着させる。真空槽8内を所定の圧力にし、上下定盤9・10を加圧しながら基板2a・2bを貼り合わせ、基板2a・2bに予め形成したマーカーの位置整合をとり、真空槽8内を大気圧に戻す。その後、両基板2a・2b間のシール材のみに紫外線を照射して硬化させる。
Claim (excerpt):
液晶を挟む一対の基板の少なくとも一方に、セルギャップを規定する規定部材を配置する第1の工程と、前記一対の基板を位置整合させる第2の工程とを含み、前記第2の工程と同一工程において、前記一対の基板のセルギャップが所定の大きさになるよう加圧することを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
IPC (3):
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 500
FI (3):
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1339 500
F-Term (26):
2H088FA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA10 ,  2H088FA16 ,  2H088FA20 ,  2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA12 ,  2H088MA17 ,  2H089LA03 ,  2H089LA09 ,  2H089MA04Y ,  2H089NA09 ,  2H089NA25 ,  2H089NA44 ,  2H089NA48 ,  2H089NA51 ,  2H089NA60 ,  2H089QA14 ,  2H089TA12 ,  2H090HC06 ,  2H090JC17 ,  2H090JC19 ,  2H090LA02 ,  2H090LA03 ,  2H090MB01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開平1-142532
  • 基板の位置合せ方法および装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-035215   Applicant:株式会社東芝
  • 液晶表示板の基板重ね合わせ方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-047170   Applicant:日立電子エンジニアリング株式会社
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