Crエッチング液

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：秋田収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995230812
Publication number (International publication number)：1997078264
Application date： Sep. 08, 1995
Publication date： Mar. 25, 1997
Summary：

【要約】【目的】不溶性化合物の発生を抑制でき、これによりロングライフ化と製造コストの低減を図る。【構成】硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウム、過塩素酸、および水からなるCrエッチング液において、硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウムの濃度が1wt%以上15wt%以下であり、過塩素酸の濃度が5wt%以上25wt%以下の組成を有する。

Claim (excerpt)：

硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウム、過塩素酸、および水からなるCrエッチング液において、硝酸第二セリウムアンモニウムあるいは硝酸第二セリウムの濃度が1wt%以上15wt%以下であり、過塩素酸の濃度が5wt%以上25wt%以下の組成を有することを特徴とするCrエッチング液。

IPC (6)：

C23F 1/26 , G02F 1/1345 , H01L 21/28 , H01L 21/306 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5)：

C23F 1/26 , G02F 1/1345 , H01L 21/28 E , H01L 21/306 F , H01L 29/78 612 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-085814
エッチング液
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-296238 Applicant：富士通株式会社
特開平2-302491

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