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J-GLOBAL ID：200903086354886690

複合チタン酸化物膜の製造方法

Inventor： 長尾 圭吾 ,  河野 孝史 ,  橋本 和生 ,  木村 隆幸
Applicant, Patent owner： 宇部興産株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994271267
Publication number (International publication number)：1996133729
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： May. 28, 1996
Summary：

【要約】【目的】 基板上の所望の位置に複合チタン酸化物を形成することにより、各種デバイスの特性を向上させる。【構成】 水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成する複合チタン酸化物膜の製造方法に関する。

Claim (excerpt)：

水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成することを特徴とする複合チタン酸化物膜の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• チタン酸鉛膜の形成方法及び金属チタン基材上にチタン酸鉛膜を形成してなる複合体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-247041   Applicant：株式会社村田製作所
• 特開平3-218926
  
• TiAl金属間化合物またはTi-Al系合金表面に複合チタン酸化物厚膜を被覆する方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-215601   Applicant：三菱マテリアル株式会社, 吉村昌弘
• チタン金属とチタン酸ジルコン酸鉛膜を含む複合体の製造方法及び複合体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-022146   Applicant：株式会社村田製作所, 新技術事業団, 吉村昌弘