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J-GLOBAL ID：200903086354886690
複合チタン酸化物膜の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994271267
Publication number (International publication number)：1996133729
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： May. 28, 1996
Summary：
【要約】【目的】 基板上の所望の位置に複合チタン酸化物を形成することにより、各種デバイスの特性を向上させる。【構成】 水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成する複合チタン酸化物膜の製造方法に関する。
Claim (excerpt)：
水熱合成法により基板上に複合チタン酸化物膜を形成する方法において、該基板としてチタンまたはチタン酸化物を形成した基板を使用し、該基板の所望の部分にチタン以外の金属または合金をコ-ティングして水熱合成を行い、コーティング膜が形成されていない部分のみに複合チタン酸化物膜を形成することを特徴とする複合チタン酸化物膜の製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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