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J-GLOBAL ID：200903045839398300

位置検出装置

Inventor：
福井 達雄

About 福井 達雄


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (2)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005290187
Publication number (International publication number)：2007101310
Application date： Oct. 03, 2005
Publication date： Apr. 19, 2007
Summary：
【課題】 視野内での被検マークの位置が変化しても1nm以下の繰り返し精度で再現性よく位置検出を行う。【解決手段】 基板11上の被検マーク11Aに照明光L1を照射する照明手段(13〜19)と、被検マークからの光を結像して該被検マークの像を形成する結像手段(19〜24,40)と、被検マークの像に基づいて該被検マークの位置検出を行う手段(25,26)とを備える。結像手段は、複数の光学レンズユニット(21,22など)を含み、複数の光学レンズユニットのうち少なくとも1つは、該光学レンズユニットの透過波面収差の回転対称成分のP-V値をδとし、照明光の中心波長をλとして、次の条件式(1)「-0.005λ < δ < +0.005λ」を満足する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板上の被検マークに照明光を照射する照明手段と、 前記被検マークからの光を結像して該被検マークの像を形成する結像手段と、 前記被検マークの像に基づいて該被検マークの位置検出を行う処理手段とを備え、 前記結像手段は、複数の光学レンズユニットを含み、 前記複数の光学レンズユニットのうち少なくとも1つは、該光学レンズユニットの透過波面収差の回転対称成分のP-V値をδとし、前記照明光の中心波長をλとして、次の条件式(1)を満足する -0.005λ < δ < +0.005λ ...(1) ことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
G01B 11/00 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G01B11/00 H ,  H01L21/30 502V
F-Term (28)：
2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG24 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL01 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065SS13 ,  2F065UU07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 2000-77295号公報
Cited by examiner (4)
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