磁気ディスクの検査方法及び装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997020297
Publication number (International publication number)：1998221272
Application date： Feb. 03, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】欠陥の見落しがなく、また、過検出もない精度の高い欠陥検査を高速で行なう方法及びその装置。【解決手段】光学的な欠陥検査によって磁気ディスク表面の欠陥を検出し、検出された欠陥部近傍の磁気ディスク面を磁気的な欠陥検査によって精密に検査することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。

Claim (excerpt)：

光学的な欠陥検査によって磁気ディスク表面の欠陥を検出し、検出された欠陥部近傍の磁気ディスク面を磁気的な欠陥検査によって精密に検査することを特徴とする磁気ディスクの検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G01B 21/30

FI (2)：

G01N 21/88 G , G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭57-161642
特開平2-045739
特開平2-108203

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