液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998245400
Publication number (International publication number)：1999133450
Application date： Aug. 31, 1998
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 BCBのような有機物質をパターニングしてドレインコンタクトホールを形成する際の前記ドレイン電極131の露出された部分を除去する時、前記画素電極141との前記ドレイン131間の接触面積が減ることによって発生する問題点を解決した。【解決手段】前記ドレイン電極131に前記ダミードレイン電極139を加えて形成して前記ドレイン電極の露出された部分が除去されても前記ダミードレイン電極139の表面の接触を通して前記画素電極141との前記ドレイン131との間の接触面積を維持することが出来る。従って、画素電極141とドレイン電極131の低い接触抵抗を得ることが出来、高い接触抵抗のために発生するしみのような問題のない液晶表示装置を提供することが出来る。

Claim (excerpt)：

基板上にダミードレイン電極を形成し、前記ダミードレイン電極上に絶縁物質を蒸着し、前記絶縁物質をパターニングして前記ダミードレイン電極を露出させるゲート絶縁層を形成し、前記ダミードレイン電極に接触するドレイン電極を形成する段階とを備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (4)：

G02F 1/1343 , G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (6)：

G02F 1/1343 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 D , H01L 29/78 616 K , H01L 29/78 617 M , H01L 29/78 617 V

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

反射型液晶表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-309612 Applicant：シャープ株式会社
液晶ディスプレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-166944 Applicant：オーアイエス・オプティカル・イメージング・システムズ・インコーポレイティド
薄膜トランジスタマトリクス装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-348260 Applicant：富士通株式会社

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