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J-GLOBAL ID：200903046124762290
多成分混合気体の組成測定方法及び組成測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002369085
Publication number (International publication number)：2004198328
Application date： Dec. 20, 2002
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：
【課題】従来の多成分混合気体の組成測定に際して、混合気体の圧力が大気圧以外の時には正確な混合比(組成)が測定できず、また、熱や光を照射する測定方法では、爆発の危険性のある混合気体は測定できない等の問題があった。【解決手段】例えば窒素、酸素、オゾンの多成分混合気体のように、予め構成する気体が知られている多成分混合気体であって、混合気体の粘性から組成が一意的に定義されるが、その中でオゾンの混合比が不明の混合気体のような、多成分混合気体の配管4に対して、例えば隔膜真空計等の絶対圧力を測定する絶対圧力測定子1と、気体の物性値として例えば粘性に敏感な圧力計である水晶摩擦真空計、スピニングロータゲージ、あるいはその他の物性値に敏感な圧力測定子2とを接続し、同時に圧力を測定する。両圧力測定値から多成分混合気体の真の物性値を求め、物性値と組成の対応データから組成を求める。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
予め構成する気体が知られている多成分混合気体であって、混合気体の粘性から組成が一意的に定義されるような組成変化をする混合気体の組成測定方法において、
混合気体の組成に対応した物性値のデータを取得し、
物性値に敏感な圧力測定装置により被測定混合気体の圧力を測定し、
同時に前記物性値に影響を受けない圧力測定装置により同気体の圧力を測定し、
両圧力測定値から混合気体の物性値を求め、
該物性値から組成を求めることを特徴とする多成分混合気体の組成測定方法。
IPC (1)：
FI (1)：
Article cited by the Patent：
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