感光性半導体ナノ結晶、半導体ナノ結晶パターン形成用感光性組成物及びこれらを用いたパターン形成方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯野道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004305592
Publication number (International publication number)：2005128539
Application date： Oct. 20, 2004
Publication date： May. 19, 2005
Summary：

【課題】成膜または鋳型の使用など厄介な工程なしで簡単に半導体ナノ結晶のパターンを得ることが可能な、感光性半導体ナノ結晶及び半導体ナノ結晶の感光性組成物を提供するとともに、これらを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】感光性作用基を有する化合物で表面配位された半導体ナノ結晶、半導体ナノ結晶の感光性組成物、及び前記感光性半導体ナノ結晶または前記組成物からフィルムを形成し、これを露光及び現像して半導体ナノ結晶のパターンを得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

感光性作用基を有する化合物で表面配位された結晶体からなる半導体ナノ結晶。

IPC (3)：

G03F7/004 , G03F7/027 , H01L21/027

FI (3)：

G03F7/004 501 , G03F7/027 , H01L21/30 502R

F-Term (9)：

2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025FA03 , 2H025FA15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

米国特許第5,559,057号明細書
米国特許第6,139,626号明細書
米国特許第5,751,018号明細書

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Cited by examiner (6)

水溶性蛍光半導体ナノ結晶
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2000-571265 Applicant：マサチューセッツインスティテュートオブテクノロジー
光重合性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-319186 Applicant：三井化学株式会社
製造品及びドープされた粒子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-081622 Applicant：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ

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