感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998004120
Publication number (International publication number)：1999202489
Application date： Jan. 12, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】アルカリ水溶液で現像可能な、膜厚が厚くなっても、感度の優れたポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得る。【解決手段】 (a)一般式(1)で表されるポリマーと、(b)紫外線かつ/または放射線によりルイス酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2以上30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3は酸の存在下解離して水酸基となる1価の有機基であり、炭素数3から20までのアルコキシカルボニル基、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表されるポリマーと、(b)紫外線かつ/または放射線によりルイス酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2以上30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3は酸の存在下解離して水酸基となる1価の有機基であり、炭素数2から20までのアルコキシカルボニル基、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

IPC (5)：

G03F 7/039 , C08L 79/08 , C09D179/08 , G03F 7/004 503 , G03F 7/075 511

FI (5)：

G03F 7/039 , C08L 79/08 A , C09D179/08 A , G03F 7/004 503 Z , G03F 7/075 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

パターン形成用感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-023585 Applicant：株式会社巴川製紙所
ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-165320 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-165321 Applicant：住友ベークライト株式会社

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