X線管及びX線分析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉浦秀幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007196819
Publication number (International publication number)：2009031168
Application date： Jul. 28, 2007
Publication date： Feb. 12, 2009
Summary：

【課題】 X線管及びX線分析装置において、さらなる小型化及び軽量化を図ることができると共に、より効率的に蛍光X線等を検出して感度を高めること。【解決手段】内部が真空状態とされX線が透過可能なX線透過膜で形成された窓部1を有した真空筐体2と、真空筐体2内に設置され電子線eを出射する電子線源3と、電子線eが照射されて一次X線を発生すると共に該一次X線を窓部1を介して外部の試料Sに出射可能に真空筐体2内に設置されたターゲットTと、試料Sから放出されて窓部1から入射する蛍光X線及び散乱X線を検出可能に真空筐体2内に配置され該蛍光X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出素子4と、X線検出素子4とターゲットTの電子線eの照射領域との間に配設された金属ガード部材10と、を備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

内部が真空状態とされX線が透過可能なX線透過膜で形成された窓部を有した真空筐体と、前記真空筐体内に設置され電子線を出射する電子線源と、前記電子線が照射されて一次X線を発生すると共に該一次X線を前記窓部を介して外部の試料に出射可能に前記真空筐体内に設置されたターゲットと、前記試料から放出されて前記窓部から入射する蛍光X線及び散乱X線を検出可能に前記真空筐体内に配置され該蛍光X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出素子と、前記X線検出素子と前記ターゲットの前記電子線の照射領域との間に配設されたガード部と、を備えていることを特徴とするX線管。

IPC (1)：

G01N 23/223

FI (1)：

G01N23/223

F-Term (11)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA02 , 2G001GA01 , 2G001HA01 , 2G001KA01 , 2G001MA04 , 2G001MA05 , 2G001QA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

X線管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-279946 Applicant：理学電機工業株式会社
特許第3062685号公報

Cited by examiner (4)

蛍光X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-177046 Applicant：辻幸一, 株式会社エックスレイプレシジョン
X線分光装置およびX線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-392192 Applicant：アワーズテック株式会社
特開平3-061840

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