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J-GLOBAL ID：200903047763795685
真空ポンプ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
和田 成則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002267257
Publication number (International publication number)：2003214379
Application date： Sep. 12, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：
【要約】【課題】 回転しているロータがケーシング内壁に衝突したときに生じる破壊トルクが、真空チャンバに伝わって真空チャンバを破壊することのない真空ポンプを提供する。【解決手段】 真空チャンバとの接続フランジ部1aのボルト穴3の穴径、ポンプケースとその下側のベースとの接続部分のボルト穴の穴径を、それぞれに挿入されるボルト径の20%以上大きくして、破壊トルクにより真空ポンプ100全体が回動するとき、真空チャンバ結合用穴とポンプ・チャンバ結合用ボルト(30)との隙間分だけ、また、ポンプケース・ベース結合用ボルト穴とポンプケース・ベース結合用ボルトとの隙間分だけ、真空チャンバとポンプケースあるいはポンプケースとベースをすべらせて、破壊トルクを吸収し、真空チャンバ200に破壊トルクが伝わるのを防ぐ。
Claim (excerpt)：
ロータと、このロータを囲うポンプケースと、このポンプケースの上縁に形成されたフランジ部と、このフランジ部の上面に接する真空チャンバの排気口周縁側に設けられた複数のポンプ結合用穴に対応配置させて、上記フランジ部に穿設され、ポンプ・チャンバ結合用ボルトを貫通するための複数の真空チャンバ結合用ボルト穴と、上記ポンプケースの下縁に形成されたベース結合部と、このベース結合部の下面に接して上記ロータの下側を覆うベースと、上記ベース結合部およびベースのそれぞれに互いに対応して配設された複数のポンプケース・ベース結合用穴と、これらのポンプケース・ベース結合用穴に挿入しネジ締めすることによりポンプケースとベースを結合する複数のポンプケース・ベース結合用ボルトと、を有し、ボルト穴径とボルト胴径の関係が、以下の(a)、(b)のいずれかであるか、(a)および(b)である真空ポンプ。(a)真空チャンバ結合用ボルト穴の径が、該真空チャンバ結合用ボルト穴に挿入されるポンプ・チャンバ結合用ボルトの胴径よりも20%以上大きい。(b)ベース結合部またはベースに設けられたポンプケース・ベース結合用穴のうちのポンプケース・ベース結合用ボルト穴の径が、該ボルト穴に挿入されるポンプケース・ベース結合用ボルトの胴径よりも20%以上大きい。
F-Term (3)：
3H031DA02
, 3H031FA31
, 3H031FA34
Cited by applicant (1)
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実願平4-52644号(実開平6-14491号) (段落番号0003、図3)
Cited by examiner (3)
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ターボ分子ポンプ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-081101
Applicant：株式会社島津製作所
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ターボ分子ポンプ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-171358
Applicant：株式会社島津製作所
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特開昭58-163812
Article cited by the Patent：
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