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J-GLOBAL ID：200903047932665001

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
富川 真佐夫

About 富川 真佐夫


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003132928
Publication number (International publication number)：2004334089
Application date： May. 12, 2003
Publication date： Nov. 25, 2004
Summary：
【課題】現像での膜減りが少なく、かつ、高感度なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】樹脂、ナフトキノンジアジド化合物、沸点100°C〜250°Cの溶媒1種以上を含む感光性樹脂組成物であって、前記樹脂として(ア)から(ウ)処理後の溶解速度が0.1nm/秒〜3nm/秒の範囲である樹脂を使用することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。(ア)樹脂を固形分30重量%で乳酸エチルに溶解し、(イ)6インチシリコンウェハー上に90°Cで20分のプリベーク後に膜厚1μm±0.2μmになるように形成し、(ウ)プリベーク後の膜を、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬したときの、該樹脂の2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
樹脂、ナフトキノンジアジド化合物、沸点100°C〜250°Cの溶媒1種以上を含む感光性樹脂組成物であって、前記樹脂として(ア)から(ウ)処理後の溶解速度が0.1nm/秒〜3nm/秒の範囲である樹脂を使用することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (ア)樹脂を固形分30重量%で乳酸エチルに溶解し、 (イ)6インチシリコンウェハー上に90°Cで20分のプリベーク後に膜厚1μm±0.2μmになるように形成し、 (ウ)プリベーク後の膜を、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬したときの、該樹脂の2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度。
IPC (2)：
G03F7/037 ,  H01L21/027
FI (2)：
G03F7/037 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (12)：
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB52 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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