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J-GLOBAL ID：200903000269093647

ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置

Inventor：
釼持 友規

About 釼持 友規

, 
平野 孝

About 平野 孝


Applicant, Patent owner：
住友ベークライト株式会社

About 住友ベークライト株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000068097
Publication number (International publication number)：2001255654
Application date： Mar. 13, 2000
Publication date： Sep. 21, 2001
Summary：
【要約】【課題】 高感度であり低膜減り性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とノボラック型フェノール樹脂0.01〜20重量部とからなるポジ型感光性樹脂組成物である。【化21】
Claim (excerpt)：
一般式(1)で示されるポリアミド100重量部と感光性ジアゾキノン化合物1〜100重量部とフェノール樹脂0.01〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (13)：
G03F 7/037 ,  C08F 2/48 ,  C08F299/02 ,  C08G 69/26 ,  C08K 5/23 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31 ,  C08L 61:06
FI (12)：
G03F 7/037 ,  C08F 2/48 ,  C08F299/02 ,  C08G 69/26 ,  C08K 5/23 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/312 D ,  C08L 61:06 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 23/30 D
F-Term (58)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BC70 ,  2H025BC77 ,  2H025BE01 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J001DA01 ,  4J001DB02 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001DD07 ,  4J001EB34 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB60 ,  4J001EC23 ,  4J001EC38 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC70 ,  4J001FB03 ,  4J001FC05 ,  4J001JA07 ,  4J002CC052 ,  4J002CL071 ,  4J002EQ016 ,  4J002EQ036 ,  4J002EV216 ,  4J002FD206 ,  4J002GQ05 ,  4J011QB17 ,  4J011RA10 ,  4J011SA63 ,  4J011SA79 ,  4J011SA80 ,  4J011WA01 ,  4J027AD02 ,  4J027AD06 ,  4J027CC04 ,  4J027CD08 ,  4J027CD10 ,  4M109AA01 ,  4M109EA11 ,  4M109EA15 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AD08 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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