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J-GLOBAL ID：200903048140420539
Cr含有窒化チタン膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001157507
Publication number (International publication number)：2002047557
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、窒化チタン薄膜本来の高摺動特性(耐摩耗性、低摩擦係数)を損なわずに、その耐高温腐食性を向上させた、蒸気タービン、ガスタービン等の高温で運転される回転機械に用いられる軸受又はシールなどの摺動部材に好適な硬質膜を提供することを目的とする。【解決手段】 かかる目的を達成するために、本発明は、Ti及びCrを主成分とする窒化物であって、その結晶粒子が面心立方晶構造で、その結晶方位が(200)面に高配向していることを特徴とするCr含有窒化チタン膜を提供する。
Claim (excerpt)：
Ti及びCrを主成分とする窒化物であって、その結晶粒子が面心立方晶構造で、その結晶方位が(200)面に高配向していることを特徴とするCr含有窒化チタン膜。
IPC (6)：
C23C 14/06
, C23C 14/48
, F01D 25/00
, F01D 25/16
, F02C 7/00
, F02C 7/28
C23C 14/06 L
, C23C 14/48 D
, F01D 25/00 L
, F01D 25/16 Z
, F02C 7/00 C
, F02C 7/28 E
4K029AA01
, 4K029AA02
, 4K029BA58
, 4K029BB07
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029CA09
Cited by examiner (2)
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被覆硬質部材
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-034612
Applicant：日立ツール株式会社
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高温摺動部材用硬質膜
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平10-302259
Applicant：株式会社荏原製作所
Article cited by the Patent：
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