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J-GLOBAL ID:200903048319959406

走査光学系の走査位置測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石橋 佳之夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998209593
Publication number (International publication number):2000039573
Application date: Jul. 24, 1998
Publication date: Feb. 08, 2000
Summary:
【要約】【課題】 回転多面鏡の各偏向反射面ごとに対する走査位置を定量的に測定することができる走査光学系の走査位置測定装置を得る。【解決手段】 測定用のCCDセンサ6、センサ変位手段9、同期検知手段13、レーザ発光変調手段、特定面検知手段15、制御手段、演算手段を有し、特定面検知手段15からの信号を基準とした同期検知手段13の検知信号で、回転多面鏡3のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定する。
Claim (excerpt):
レーザ光源からのレーザ光束を被走査面上に光スポットとして集光させ、回転多面鏡によって上記被走査面を走査する走査光学系の、上記被走査面上の主走査方向所望位置における副走査方向の走査位置を測定する装置であって、測定用のCCDセンサと、上記CCDセンサを、その受光面が上記被走査面に等価な測定面に沿って主走査方向へ変位させるセンサ変位手段と、有効走査範囲の走査に先立ってレーザ光束を検知する同期検知手段と、上記レーザ光源のオン・オフを制御するレーザ発光変調手段と、上記回転多面鏡の特定回転角で信号を発生する特定面検知手段と、上記レーザ発光変調手段に命令を与える機能および上記CCDセンサに情報読み出し信号を送る機能を有する制御手段と、上記CCDセンサの、上記光スポットの走査による受光情報信号に基づき、上記光スポットの副走査方向の中心位置を演算する演算手段とを有し、上記特定面検知手段からの信号を基準とした上記同期検知手段の検知信号で、上記回転多面鏡のどの偏向反射面で反射された光スポット位置かを特定することを特徴とする走査光学系の走査位置測定装置。
IPC (2):
G02B 26/10 ,  G01B 11/00
FI (2):
G02B 26/10 A ,  G01B 11/00 E
F-Term (16):
2F065AA01 ,  2F065BB25 ,  2F065BB27 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL15 ,  2F065MM16 ,  2F065MM24 ,  2F065UU06 ,  2H045AA01 ,  2H045CA82 ,  2H045DA31
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 走査光学装置の調整方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-052890   Applicant:キヤノン株式会社
  • 走査光学系評価装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-200329   Applicant:富士ゼロックス株式会社
  • レーザービーム測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-159949   Applicant:株式会社リコー
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