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J-GLOBAL ID：200903048442508885

ステージ装置および露光装置、ならびにデバイス製造方法

Inventor： 宮島 義一 ,  徳田 幸夫
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998023277
Publication number (International publication number)：1999223690
Application date： Feb. 04, 1998
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 ステージ定盤の材料や構造の改良によって、低コストと軽量・高剛性を両立した優れたステージ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 移動ステージと、これを静圧軸受と磁石予圧機構によってガイドする案内面を有するステージ定盤を備え、該ステージ定盤は異なる材料層の積層構造とする。該定盤の第1の層はパーマロイ等の磁性体材料、第2の層はアルミナセラミックもしくは窒化珪素セラミック等のセラミック材料である。

Claim (excerpt)：

移動ステージと、これをガイドする案内面を有するステージ定盤を備え、該ステージ定盤は異なる材料層の積層構造としたことを特徴とするステージ装置。

IPC (5)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/01 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  G05D 3/12 306

FI (5)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  G05D 3/12 306 Z ,  H01L 21/30 515 G ,  B23Q 1/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ステージ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-172855   Applicant：株式会社ニコン
• 走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-177412   Applicant：キヤノン株式会社

Cited by examiner (2)

• ステージ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-172855   Applicant：株式会社ニコン
• 走査ステージ装置およびこれを用いた露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-177412   Applicant：キヤノン株式会社