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J-GLOBAL ID：200903048671756590

複数の超小型構造層から製作された機械構造及び製造方法

Inventor： クロード・ルイス・バーティン ,  ジョン・エドワード・クローニン
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996198777
Publication number (International publication number)：1997117164
Application date： Jul. 29, 1996
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 マイクロマシン技術で実施されるよりもかなり大きい、有用な仕事が可能な機械及び製造方法を提供する。【解決手段】 互いに積層された複数のマイクロマシン層をそれぞれ含む機械構造、ならびにその製作方法を提示する。各機械構造は、スタックを含む複数のマイクロマシン層のうちの少なくとも1つの層の超小型構造から画定された可動部材を含む。製作の際には、VLSI技術を使用してマイクロマシン層を別々に形成し、その後でスタックの形で選択された配列で互いに積層して機械構造を画定する。

Claim (excerpt)：

互いに積層された複数の層のスタック構造を含む機械であって、前記スタック構造が前記複数の層のうちの少なくとも1つの層の超小型構造から画定された可動部材を含む機械。

IPC (4)：

H02N 1/00 ,  H01L 21/306 ,  H01L 29/84 ,  H01L 49/00

FI (4)：

H02N 1/00 ,  H01L 29/84 Z ,  H01L 49/00 Z ,  H01L 21/306 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• トランスミッション制御クラッチのための較正方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-155667   Applicant：ディーア・アンド・カンパニー
• コイル体およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-077491   Applicant：三菱電機株式会社
• 微小可動機械とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-225752   Applicant：日本電気株式会社