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J-GLOBAL ID:200903048736337574

マイクロケミカルデバイスの製造法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高橋 勝利
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999056438
Publication number (International publication number):2000246805
Application date: Mar. 04, 1999
Publication date: Sep. 12, 2000
Summary:
【要約】【課題】 二つ以上の部材の間に微小な空間を閉塞されることなく形成されたマイクロケミカルデバイスを製造法を提供すること。【解決手段】 エネルギー線透過性の部材(A)と他の部材(B)との間に、エネルギー線硬化性化合物を含有する液状の組成物(C)を厚さ5〜1000μmの範囲で狭持した状態で、空間となるべき部分を除いてエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、未照射部分の未硬化の組成物(C)を除去することにより、部材間に外部と連絡した空間を形成するマイクロケミカルデバイスの製造法。
Claim (excerpt):
エネルギー線透過性の部材(A)と他の部材(B)との間に、エネルギー線硬化性化合物を含有する液状の組成物(C)を厚さ5〜1000μmの範囲で狭持した状態で、空間となるべき部分を除いてエネルギー線を照射して組成物(C)を硬化させた後、未照射部分の未硬化の組成物(C)を除去することにより、部材間に外部と連絡した空間を形成することを特徴とするマイクロケミカルデバイスの製造法。
IPC (10):
B29C 67/00 ,  B01J 19/24 ,  B29C 35/08 ,  B32B 3/26 ,  C08F 2/46 ,  G01N 1/10 ,  G01N 1/12 ,  G01N 27/447 ,  G01N 30/02 ,  B29K105:24
FI (10):
B29C 67/00 ,  B01J 19/24 Z ,  B29C 35/08 ,  B32B 3/26 B ,  C08F 2/46 ,  G01N 1/10 G ,  G01N 1/12 B ,  G01N 30/02 A ,  G01N 27/26 315 A ,  G01N 27/26 325 E
F-Term (106):
4F100AK01B ,  4F100AK25B ,  4F100AK49B ,  4F100AR00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DB20 ,  4F100DD27 ,  4F100EA041 ,  4F100EH112 ,  4F100EH312 ,  4F100EJ082 ,  4F100EJ303 ,  4F100EJ522 ,  4F100GB51 ,  4F100GB90 ,  4F100JB14B ,  4F100JD06A ,  4F203AA44 ,  4F203AD08 ,  4F203AG03 ,  4F203AH33 ,  4F203AH81 ,  4F203DA01 ,  4F203DA12 ,  4F203DB01 ,  4F203DB11 ,  4F203DC07 ,  4F213AA44 ,  4F213AD08 ,  4F213AG03 ,  4F213AH33 ,  4F213AH81 ,  4F213WA02 ,  4F213WA53 ,  4F213WA62 ,  4F213WA86 ,  4F213WA87 ,  4F213WB01 ,  4F213WB13 ,  4G075AA23 ,  4G075AA32 ,  4G075AA62 ,  4G075BA04 ,  4G075CA32 ,  4G075CA33 ,  4G075CA34 ,  4G075CA38 ,  4G075CA39 ,  4G075CA51 ,  4G075CA63 ,  4G075EB31 ,  4G075EE12 ,  4G075EE23 ,  4G075EE36 ,  4G075FA01 ,  4G075FA05 ,  4G075FA11 ,  4G075FB12 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA18 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA32 ,  4J011QA34 ,  4J011QA38 ,  4J011QA39 ,  4J011QA40 ,  4J011QA42 ,  4J011QA43 ,  4J011QA46 ,  4J011QB04 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011QB24 ,  4J011RA10 ,  4J011SA02 ,  4J011SA04 ,  4J011SA16 ,  4J011SA17 ,  4J011SA19 ,  4J011SA20 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA28 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA54 ,  4J011SA58 ,  4J011SA64 ,  4J011SA83 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011UA05 ,  4J011UA06 ,  4J011VA04 ,  4J011WA10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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