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J-GLOBAL ID：200903048782329446

ウェハー容器

Inventor：
デイヴィッド・エル・ニセス

About デイヴィッド・エル・ニセス


Applicant, Patent owner：
フルオロウェア・インコーポレーテッド

About フルオロウェア・インコーポレーテッド


Agent (1)： 岡田 英彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997188652
Publication number (International publication number)：1998070185
Application date： Jul. 14, 1997
Publication date： Mar. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】安価で粒子発生が少なく、またウェハーを安定保持できるウェハー容器の提供。【解決手段】ウェハー容器は水平の上側フレーム部材と、この上側フレーム部材に平行な下側フレーム部材と、下側フレーム部材及び上側フレーム部材の間を延びていてこれらと一体化されている一対の対向する垂直のサイドフレーム部材とを有し、これらの部材によりウェハーを受容するための開口した前部を形成している、ほぼ四角形の垂直のフレームを有する。また、容器は上側フレーム部材と一体化され、かつこれから後方に延びるほぼ水平な上部と、下側フレーム部材と一体化され、かつこれから後方に延びるほぼ水平な下側ベース部と、透明なプラスチックシェルを有する付加成形部分とを有し、付加成形部分は上部に連結され、かつ前記下側ベース部に連結されてこれらの間を延びるU字形部分を有する。
Claim (excerpt)：
容器部分を有するウェハー容器であって、水平の上側フレーム部材と、この上側フレーム部材に平行な下側フレーム部材と、下側フレーム部材及び上側フレーム部材の間を延びていてこれらと一体化されている一対の対向する垂直のサイドフレーム部材とを有し、これらの部材によりウェハーを受容するための開口した前部を形成している、ほぼ四角形の垂直のフレームと、前記上側フレーム部材と一体化され、かつこれから後方に延びるほぼ水平な上部と、前記下側フレーム部材と一体化され、かつこれから後方に延びるほぼ水平な下側ベース部と、透明なプラスチックシェルを有する付加成形部分とを有し、前記付加成形部分は前記上部に連結され、かつ前記下側ベース部に連結されてこれらの間を延びるU字形部分を有する、ウェハー容器。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  B65D 85/86
FI (2)：
H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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