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J-GLOBAL ID：200903048834629265

電子放出素子及びその製造方法

Inventor： 山野辺 正人 ,  塚本 健夫 ,  河手 信一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998322348
Publication number (International publication number)：2000188058
Application date： Nov. 12, 1998
Publication date： Jul. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】電子放出効率が高く、高精細化が可能で、駆動電圧が低く、安定で、バラツキが少ない電子放出特性を有する電子放出素子を提供する。【解決手段】基板1上に、下部電極2、細孔5を有する絶縁層3、上部電極4をこの順に積層した電子放出素子において、絶縁層3は、陽極酸化層であり、細孔5の中に炭素堆積物を形成させる。

Claim (excerpt)：

基板上に、下部電極と、細孔を有する絶縁層と、上部電極とをこの順に積層した電子放出素子であって、前記細孔中に、炭素堆積物を有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (6)：

H01J 1/312 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/36 ,  H01J 31/38

FI (6)：

H01J 1/30 M ,  H01J 9/02 M ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 31/36 ,  H01J 31/38 Z

F-Term (18)：

5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE01 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EG15 ,  5C036EH01 ,  5C036EH04 ,  5C036EH06 ,  5C036EH08 ,  5C036EH11 ,  5C036EH17 ,  5C037AA01 ,  5C037AB23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 電子放出素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-015629   Applicant：株式会社リコー
• MIM構造素子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-213744   Applicant：株式会社日立製作所
• 電子放出素子、電子源基板および画像形成装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-044095   Applicant：キヤノン株式会社
• 電子放出素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-007997   Applicant：株式会社リコー
• 電子放出素子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-161506   Applicant：日本電気株式会社