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J-GLOBAL ID：200903049141238447

複屈折光学素子及びその製造方法

Inventor： 横山 光 ,  西田 直樹
Applicant, Patent owner： コニカミノルタホールディングス株式会社
Agent (1)： 森下 武一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004122649
Publication number (International publication number)：2005308859
Application date： Apr. 19, 2004
Publication date： Nov. 04, 2005
Summary：

【課題】 隣接するトレンチがつながっていない微細な一次元周期構造を備えた複屈折光学素子及びその製造方法を得る。 【解決手段】 切れ目6によって分断されて破線状に形成されている転写用開口5を有するマスクを素子基板に重ね合わせて、フォトリソグラフィーや電子線リソグラフィーによってエッチングする。これにて、切れ目3によって分断されたトレンチ2が一次元周期で並設された微細構造体を備えた複屈折光学素子が得られる。 【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

構造性複屈折を生じさせるために一次元周期で並設された複数本のトレンチを備え、該トレンチが切れ目によって分断された破線状に形成されていることを特徴とする複屈折光学素子。

IPC (1)：

G02B5/30

FI (1)：

G02B5/30

F-Term (4)：

2H049BA02 ,  2H049BA06 ,  2H049BA45 ,  2H049BC08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 半導体基板及びその半導体基板を用いた半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-358186   Applicant：株式会社デンソー
• 波長板、光ピックアップ装置及び光ディスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-006448   Applicant：株式会社リコー

Cited by examiner (1)

• 回折格子を用いた絵柄体及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-256679   Applicant：大日本印刷株式会社