分解能評価試料

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大垣孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995238587
Publication number (International publication number)：1997082262
Application date： Sep. 18, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】半導体のインラインタイプの装置の評価ができ、かつ、高い分解能を有する装置にも対応できる分解能評価試料。【解決手段】下地の表面に、少なくとも一部分のタングステンシリサイド粒子間に下地の表面が露出するように、当該タングステンシリサイド粒子を設けてなる。

Claim (excerpt)：

下地の表面に、少なくとも一部分のタングステンシリサイド粒子間に前記下地の表面が露出するように、当該タングステンシリサイド粒子を設けてなることを特徴とする分解能評価試料。

IPC (4)：

H01J 37/256 , G01N 1/00 102 , G01R 31/302 , H01L 21/28

FI (4)：

H01J 37/256 , G01N 1/00 102 B , H01L 21/28 , G01R 31/28 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-278446
走査型電子顕微鏡用観察試料のマーキング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-164287 Applicant：シャープ株式会社
特開平2-273447

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