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J-GLOBAL ID：200903049289700859

微小物の精密配置法

Inventor： 不動寺 浩 ,  今野 武志 ,  江頭 満 ,  小林 幹彦 ,  新谷 紀雄
Applicant, Patent owner： 科学技術庁金属材料技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998342134
Publication number (International publication number)：2000167387
Application date： Dec. 01, 1998
Publication date： Jun. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】 効率的に、多量の粒子微小物を、1個づつ基板上に精密配置する。【解決手段】 絶縁性等の基板上に、集束イオンビーム等によって帯電スポットを形成し、サイズ200μm以下等の微小物を誘引・付着させる。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に帯電スポットを形成し、1個の帯電スポット上に1個の微小物を誘引・付着させることを特徴とする微小物の精密配置法。

IPC (4)：

B01J 19/08 ,  G02F 1/1339 500 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/34 505

FI (4)：

B01J 19/08 Z ,  G02F 1/1339 500 ,  H05K 3/34 505 A ,  H01L 23/12 L

F-Term (13)：

2H089NA11 ,  2H089QA12 ,  4G075AA65 ,  4G075AA70 ,  4G075BB02 ,  4G075BB04 ,  4G075BB08 ,  4G075CA39 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075FC15 ,  5E319AC01 ,  5E319CD25

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 生体関連高分子の固定化装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-173731   Applicant：住友金属工業株式会社
• 液晶表示素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-258914   Applicant：積水化学工業株式会社
• 帯電式スペーサ粒子散布方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-245926   Applicant：ソニー株式会社
• 特開平4-204417
  
• 液晶表示装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-212384   Applicant：富士通株式会社
• ダイヤモンド基板のクリーニング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-335919   Applicant：住友電気工業株式会社
• 液晶表示装置およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-046841   Applicant：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社