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J-GLOBAL ID：200903049330630579

静電チャック

Inventor： 会田 比呂史 ,  福留 武郎 ,  三上 一彦 ,  伊東 裕見子
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996350075
Publication number (International publication number)：1998189698
Application date： Dec. 27, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】200°C以下の温度雰囲気下においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られる窒化アルミニウム製静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャックの吸着面を窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを12〜40容量%とイットリウム、エルビウム、イッテルビウムのうち少なくとも1種を酸化物換算で1〜8容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体、又は窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを5〜20容量%とニッケルを酸化物換算で0.1〜10容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体により形成する。

Claim (excerpt)：

被固定物を吸着保持する吸着面が、窒化アルミニウムを主相とし、窒化チタンを12〜40容量%含有するとともに、さらにイットリウム、エルビウム、イッテルビウムのうち少なくとも一種を酸化物換算で1〜8容量%含有してなる窒化アルミニウム質焼結体からなることを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/581 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/58 104 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-003956
  
• 特開平2-022166
  
• 耐蝕性部材およびウエハ保持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-014820   Applicant：京セラ株式会社
• セラミックス製静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-193020   Applicant：信越化学工業株式会社