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J-GLOBAL ID:200903049450265807
ポジ型感光性樹脂組成物
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996164472
Publication number (International publication number):1998010740
Application date: Jun. 25, 1996
Publication date: Jan. 16, 1998
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 基板との優れた密着性を有する新規なポジ型感光性樹脂を提供すること。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表わされる有機ケイ素化合物(C)0.1〜20重量部からなるポジ型感光性樹脂組成物。式中X:4価の芳香族基Y:2価の芳香族基(R1、R2:2価の有機基、R3、R4:1価の有機基)a、bはモル分率を示し、a+b=100モル%a=60.0〜100.0モル%b=0〜40.0モル%n=2〜500(式中R5:4価の芳香族基R6:2価の有機基R7,R8:1価の有機基、互いに独立であり、同じでも異なっていてもよい。l:0,1又は2)
Claim (excerpt):
一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部と一般式(2)で表わされる有機ケイ素化合物(C)0.1〜20重量部からなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】
IPC (9):
G03F 7/075 501
, C08G 73/10 NTF
, G03F 7/016 501
, G03F 7/037
, G03F 7/039 501
, G03F 7/085
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H05K 3/28
FI (9):
G03F 7/075 501
, C08G 73/10 NTF
, G03F 7/016 501
, G03F 7/037
, G03F 7/039 501
, G03F 7/085
, H01L 21/312 B
, H05K 3/28 D
, H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-253147
Applicant:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-158400
Applicant:住友ベークライト株式会社
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ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-068799
Applicant:住友ベークライト株式会社
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