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J-GLOBAL ID:200903049611295248

ガラス板の形状測定方法及び形状測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000252731
Publication number (International publication number):2002062122
Application date: Aug. 23, 2000
Publication date: Feb. 28, 2002
Summary:
【要約】【課題】 ガラス板縁部での微小欠損の検査を自動化し、検査の所要時間の短縮と省力化により、生産性向上が図れるガラス板の形状測定方法及び装置を得る。【解決手段】 測定用光源9の発生する測定用光7をガラス板3に所定の入射角αで照射すると共に、前記入射角αに対して所定の見込み角βとなる定位置に配置した受光センサ11で前記ガラス板3で反射する前記測定用光7を受光すると同時に、前記測定用光源9及び受光センサ11に対してガラス板3を相対変位させることで、測定用光7の照射位置がガラス板3の縁を横断する照射走査を実現し、前記受光センサ11の受光する測定用光7の強度変化によって、前記ガラス板3の輪郭形状を測定する。
Claim (excerpt):
測定用光源の発生する測定用光をガラス板に所定の入射角αで照射すると共に、前記入射角αに対して所定の見込み角βとなる定位置に配置した受光センサに前記ガラス板で反射する前記測定用光を受光させ、且つ、前記測定用光源及び受光センサに対してガラス板を相対変位させることで、ガラス板上での測定用光の照射位置がガラス板の縁を横断する測定用光の照射走査を実現し、前記受光センサの受光する測定用光の強度変化によって、前記ガラス板の輪郭形状を測定することを特徴とするガラス板の形状測定方法。
IPC (4):
G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/958 ,  G01N 33/38
FI (4):
G01B 11/30 A ,  G01N 21/958 ,  G01N 33/38 ,  G01B 11/24 G
F-Term (34):
2F065AA13 ,  2F065AA18 ,  2F065AA25 ,  2F065AA52 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065CC21 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF05 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS04 ,  2F065UU05 ,  2G051AA42 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051ED22
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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