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J-GLOBAL ID:200903049886357731

ゾルゲル法による金属酸化物被膜の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999076136
Publication number (International publication number):2000273647
Application date: Mar. 19, 1999
Publication date: Oct. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 クラックの発生がなく、かつ1回の工程により、厚さ0.05〜5μmの均質で厚い金属酸化物被膜を形成させる、経済性に優れた効率よい金属酸化物被膜の形成方法を提供する。【解決手段】 金属塩を溶解させた芳香族化合物溶媒に、水-アルコール混合溶液を添加させた後、加水分解、脱水縮合反応させて形成させた金属酸化物オリゴマー-芳香族化合物溶媒錯体を含む溶液を調製する工程と、前工程で調製された金属酸化物オリゴマー-芳香族化合物溶媒錯体を含む溶液を、溶媒雰囲気下で基体上に付着、乾燥させた後、熱処理させて金属酸化物被膜を形成させる工程とからなるゾルゲル法による金属酸化物被膜の形成方法である。
Claim (excerpt):
金属塩を溶解させた芳香族化合物溶媒に、水-アルコール混合溶液を添加させ、ついで加水分解、脱水縮合反応させて形成させた金属酸化物オリゴマー-芳香族化合物溶媒錯体を含む溶液を調製させる工程と、前工程で調製された金属酸化物オリゴマー-芳香族化合物溶媒錯体を含む溶液を、溶媒雰囲気下で基体上に付着、乾燥させた後、熱処理を施させることにより金属酸化物被膜を形成させる工程とからなることを特徴とするゾルゲル法による金属酸化物被膜の形成方法。
F-Term (23):
4K022AA02 ,  4K022AA03 ,  4K022AA04 ,  4K022AA31 ,  4K022BA02 ,  4K022BA10 ,  4K022BA15 ,  4K022BA17 ,  4K022BA18 ,  4K022BA22 ,  4K022BA23 ,  4K022BA24 ,  4K022BA26 ,  4K022BA28 ,  4K022BA33 ,  4K022DA06 ,  4K022DB01 ,  4K022DB04 ,  4K022DB07 ,  4K022DB08 ,  4K022DB14 ,  4K022EA01 ,  4K022EA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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