形状計測装置、検査装置、及び製品の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村茂信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994195604
Publication number (International publication number)：1996061930
Application date： Aug. 19, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】未知の対象の三次元形状計測を可能とする形状計測装置の提供。【構成】入力ユニット11から入力する指令により、カラー画像表示装置である投光装置3に選択された三次元計測法の計測用カラーパタンを表示し、この計測用カラーパタンをX-Yステージ2上の計測対象1に投光し、その計測対象1をカラーカメラ4で撮像し、対象1の表面法線ベクトルの天頂角成分ベクトル、方位角成分ベクトルをセンシングし、これらから対象1の形状計測を行う。

Claim (excerpt)：

三次元形状計測装置であって、カラー画像表示装置であり、所定の投光方式に従って、カラーパタンを表示して発生する光束を計測対象に投光する投光手段と、この投光手段とは、前記計測対象に対して三次元形状計測を可能とする幾何光学的空間位置関係に設置され、前記光束を受けた計測対象を撮像して画像信号を出力する撮像手段と、適用した三次元計測方式に準じて、前記投光手段の投光方式及び前記撮像手段の撮像方式から成る計測方式を規定する計測方式規定手段と、前記撮像手段からの画像信号を受けて前記計測方式に対応するプログラムを用いて、三次元形状計測演算をなす演算手段と、を備えて成ることを特徴とする形状計測装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平1-165907
特開平3-289505
3次元形状計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-273808 Applicant：シヤープ株式会社

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