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J-GLOBAL ID：200903050041159840

酸化物透明導電膜及びその製法

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Agent (2)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002200534
Publication number (International publication number)：2004043851
Application date： Jul. 09, 2002
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：
【課題】可視光領域だけでなく赤外線領域においても透過性に優れ、しかも低抵抗値を有する酸化物透明導電膜を提供する。【解決手段】酸化インジウムを主成分とし、タングステン/インジウムの原子数比で0.019〜0.034の割合で、酸化インジウムのインジウムがタングステンに置換され、かつ酸化インジウムは結晶質である。あるいは、スパッタリングによる成膜で形成され、結晶質の酸化インジウムを主成分とし、タングステンを含む酸化物透明導電膜において、実質的に全てのタングステンが酸化インジウムのインジウムに対し置換されている。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
結晶質の酸化インジウムを主成分とし、タングステンを含む酸化物透明導電膜において、タングステン/インジウムの原子数比で0.019〜0.034の割合で、酸化インジウムのインジウムがタングステンに置換されていることを特徴とする酸化物透明導電膜。
IPC (6)：
C23C14/08 ,  C01G15/00 ,  C03C17/245 ,  C23C14/34 ,  G02B1/10 ,  H01L31/04
FI (6)：
C23C14/08 D ,  C01G15/00 B ,  C03C17/245 A ,  C23C14/34 ,  H01L31/04 M ,  G02B1/10 Z
F-Term (27)：
2K009CC03 ,  2K009DD04 ,  2K009EE03 ,  4G059AA08 ,  4G059AC04 ,  4G059AC18 ,  4G059AC20 ,  4G059EA03 ,  4G059EA07 ,  4G059EB04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BC00 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC39 ,  5F051AA05 ,  5F051BA16 ,  5F051CB15 ,  5F051FA02 ,  5F051FA04 ,  5F051FA08 ,  5F051FA24 ,  5F051FA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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